华泰证券-半导体设备行业动态点评：台积电扩建延后，不改国产设备崛起-200601

　　台积电5纳米扩建或推迟，芯片需求短期不确定性不改国产设备崛起趋势
　　据财联社6月1日讯，台积电拟将5纳米产线扩建时间推迟至2021年第一季度（较此前规划推后2个季度）。https://www.xiadun.cn【侠盾研报网】我们认为，中美贸易摩擦、全球疫情扩散和经济承压等因素对芯片订单产生的短期不确定性，或将阶段性导致全球部分一线晶圆厂产能投资放缓、设备需求延后，但并不会改变中国大陆芯片产能扩张和设备需求增长的大趋势。https://www.xiadun.cn（侠盾研报网）在半导体产业链自主可控需求日渐迫切的环境下，中国大陆芯片制造产能处于逆周期扩产阶段，国产设备企业正迎来市场份额提升、加速发展的机遇期。推荐北方华创、中微公司、长川科技，关注华峰测控、晶盛机电、芯源微。
　　全球半导体设备需求保持增长，中国大陆逆周期扩产是重要驱动因素
　　虽然疫情或对全球半导体产业景气度带来一定不确定性，但据SEMI数据，2020年4月北美、日本半导体设备企业出货额仍保持较快增长，分别同比增长17%、16%，我们认为中国晶圆厂的逆周期扩产是全球设备需求增长的重要驱动因素。据中芯国际公告、长江存储官网，目前中芯南方14nm晶圆月产能已提升至6千片，将逐步实现3.5万片产能目标；长江存储扩产及研发稳步推进，2020年128层QLC 3DNAND闪存研发成功并在终端产品上通过验证。同时考虑芯片自主可控需求提升、中芯国际拟赴科创板上市、中芯南方获大基金增资等因素，国内扩产进程有望进一步加快。
　　内资晶圆厂扩产提供设备进口替代机会，设备国产化已取得阶段性进展
　　目前中芯国际、长江存储、合肥长鑫等本土晶圆厂分别在逻辑电路、3DNAND、DRAM存储芯片领域布局先进制程产能且技术逐步成熟，为国产设备提供了验证试用平台和进口替代机会，设备国产化正取得阶段性突破。以长江存储为例，据中国国际招标网公告，国产设备17年至今累计中标份额如下：1）刻蚀设备：中微公司16%、北方华创4%；2）CVD设备：沈阳拓荆3%；3）PVD设备：北方华创30%；4）工艺检测设备：精测电子1%、上海睿励1%；5）热处理设备：北方华创26%；6）清洗设备：盛美半导体28%；7）测试机：精测电子2%；8）CMP设备：华海清科23%。
　　推荐北方华创、中微公司、长川科技，关注华峰测控、晶盛机电、芯源微
　　目前国内半导体设备产业体系逐步完善，优势企业初步具备进口替代能力，我们认为以下企业是具备较高技术水平的国产装备龙头。上市公司包括：北方华创（产品品类覆盖广的本土装备龙头）、中微公司（刻蚀机供应国内外一线晶圆厂）、长川科技（探针台、数字测试机新品蓄力）、华峰测控（测试机本土领先企业）、晶盛机电（硅片制造设备）、芯源微（涂胶显影设备、湿法设备），非上市公司包括：上海微电子（光刻设备）、沈阳拓荆（薄膜沉积设备）、中科仪（真空获得设备、薄膜沉积设备）、盛美半导体（清洗设备）、华海清科（CMP设备）、南京晶升能源（硅片制造设备）等。
　　风险提示：宏观经济下行及半导体行业周期性波动的风险；海外疫情加剧的风险；国内芯片制造技术突破慢于预期、产业投资不及预期的风险；国内半导体设备技术突破慢于预期的风险。