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西南证券-半导体行业深度报告：复盘ASML发展历程，探寻本土光刻产业链投资机会-200617
【研究报告内容】
光刻机：芯片制造中最核心设备，复杂程度高，形成庞大产业链]。光刻环节是晶圆制造中最核心工艺，占晶圆制造耗时40%-50%，占芯片成本30%。作为光刻工艺的核心设备，光刻机结构复杂、成本极高，占晶圆制造设备投资23%。区别于其他晶圆制造设备，浸没式DUV和EUV光刻机可形成自身产业链，因此高端光刻...
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