广发证券-半导体设备行业研究系列四：氧化/扩散/退火设备，热工艺设备受益国产替代，持续关注国内领先厂商-200421

　　核心观点：
　　氧化/扩散/退火设备：半导体制造环节中的重要热工艺设备。氧化是将硅片放置于氧气或水汽等氧化剂的氛围中进行高温热处理，在硅片表面发生化学反应形成氧化膜的过程。扩散是指在高温条件下，利用热扩散原理将杂质元素按工艺要求掺入硅衬底中，使其具有特定的浓度分布，从而改变硅材料的电学特性。退火是指加热离子注入后的硅片，修复离子注入带来的晶格缺陷的过程。用于氧化/扩散/退火的基本设备有三种：卧式炉、立式炉和快速升温炉（RTP）。根据2018年Gartner的数据，氧化/扩散/退火设备占晶圆制造（含先进封装）设备的3%左右。
　　下游需求与技术演进带来热工艺设备市场增长。从行业空间来看，热工艺设备一方面长期受益全球半导体需求增加与产线产能的扩充，另一方面受益于技术的演进带来的增长机遇。根据SEMI的统计，2019年全球半导体设备达到597.5亿美元，按晶圆处理设备占比80%，氧化/扩散/退火设备占晶圆处理设备占比3%简单估算可得2019氧化/扩散/退火设备市场规模约为14.3亿美元。
　　壁垒高企，国外厂商占据热工艺设备绝大部分市场。根据Gartner 2018年的数据，热工艺设备应用材料、东京电子、Kokusai三家占比分别为46%、21%和15%，全球Top 3合计市占率为82%，竞争格局集中。国内设备厂商中占有一定份额的是屹唐半导体（收购Mattson，占全球比例5%）和北方华创（占全球比例0.2%）。
　　国内热工艺设备迎来技术与订单突破，持续受益国产替代机遇。国内氧化/扩散/退火设备主要厂商为屹唐半导体和北方华创，近年来两家公司分别在技术储备以及客户认证方面取得良好进展。北方华创官网与年报显示，公司氧化/扩散炉各产品型号可以支持28nm及以上制程。屹唐半导体2016年完成对Mattson的收购，Mattson的热工艺处理设备主要为RTP，产品覆盖全球前十大芯片制造厂商。从订单维度来看，根据中国招标网数据，至2020Q1，北方华创累计中标长江存储订单一共39台，华力集成3台和华虹无锡6台，Mattson累计中标长江存储订单一共2台，华力集成2台和华虹无锡2台。
　　投资建议。建议关注国内领先企业北方华创、屹唐半导体（收购Mattson，未上市）。
　　风险提示。新冠病毒不确定性风险；技术更新换代风险；下游投资不及预期风险；专利风险等。