中信建投-专用设备行业半导体设备系列报告之九：中微公司，刻蚀设备快速进步，MOCVD向紫外光LED、MiniLED等领域拓展-200417

　　事件：
　　半导体设备行业龙头公司中微公司4月16日晚发布公告，2019年实现收入/归母净利润/扣非归母净利润分别为19.47/1.89/1.48亿元，同比增长18.77%/107.51%/ 41.48%。
　　简评
　　毛利率基本稳定，研发投入保持高位，来自台湾地区的收入增长最快：①2019年全年，公司毛利率达到34.93%，同比减少0.57pct；其中专用设备（包括刻蚀设备和MOCVD设备）毛利率33.91%，同比减少1pct。考虑到2018年公司MOCVD设备的毛利率从2017年的38.1%下滑至26.3%，我们认为2019年的整体毛利率基本保持稳定；②分区域看，大陆地区收入占比83%，同比增长17.53%，依旧是第一大收入来源；值得关注的是，台湾地区收入达到2.69亿，同比增长42.50%，占比提升到13.7%。考虑到台湾地区营收的毛利率约43.83%，更加接近刻蚀设备的毛利，我们认为公司在台湾的代工厂预计取得了较好突破；③研发方面，2019年公司研发投入合计4.25亿元，占营业收入比重达21.81%。其中费用化2.49亿元，资本化1.75亿元，资本化比例约41.30%，与2017-2018年48-49%的比例基本相符。反应到会计报表上，考虑到政府补助冲减研发费用0.15亿（18年冲减0.93亿），最终公司研发费用2.34亿，同比大增97.7%；公司已建立完整的研发管理流程，确保资本化透明有效。对已形成的资本化费用也会及时结提、转入无形资产、及时摊销；④公司2019年其他收益1.04亿元（主要是各地补贴和资助），相比于2018年增加0.27亿元，其中计入当期非经常性损益的政府补助0.27亿元，整体合理。
　　刻蚀设备取得快速进步，CCP、ICP均有进展：①2019年，公司刻蚀设备产品保持竞争优势，批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线。根据我们对2019年招标数据的统计，公司2019年中标长江存储各类刻蚀设备12台，占长江存储19年全部公示刻蚀设备台数的12%以上。同时，2020年开年以来，中微累计中标长江存储各类刻蚀设备9台，占长江存储全部公示刻蚀设备台数的19%以上，份额有所提升。同样的，公司2019年中标华虹无锡Fab厂各类刻蚀设备7台，占其19年全部公示刻蚀设备台数的15%以上；而2020年开年以来，中微累计中标3台，占比同样是15%以上；
　　②展望2020年及朝后，我们认为国内半导体设备市场在存储厂产能快速爬坡+特色工艺线多点发展拉动国产设备需求+先进制程产线对国产设备的认可度提升这三条主线的驱动下，国产半导体设备将维持3-5年的快速增长趋势；③综合国内外机构预测和我们对下游产线资本开支的统计，判断2020年国内半导体设备市场规模将达到1200亿左右（包括晶圆制造设备、封装设备、测试设备三大类），而刻蚀设备是晶圆制造过程中最重要的设备种类之一，占全部设备的价值比例达到20-25%，可分为电容性CCP刻蚀与电感性ICP刻蚀两大类；④当前CCP刻蚀是公司在刻蚀领域的主打产品，已开发了10年以上。在逻辑代工领域，公司产品已在国际领先的晶圆生产线核准5nm的若干关键步骤的加工。公司正在开发新一代的CCP刻蚀设备，可加工先进逻辑器件，包括大马士革在内的各种刻蚀应用，能够涵盖5nm及更先进工艺刻蚀需求和更多关键应用；在存储器领域，公司的CCP介质刻蚀设备已应用于64层3DNANDFlash的量产，且正在开发新一代涵盖128层和更先进关键刻蚀应用的刻蚀设备和工艺；⑤而ICP刻蚀相对来说刻蚀更加均匀，适用于非常薄的薄膜，且表面损害较小，未来应用越来越多，目前市场应用占比已经过半。公司的ICP刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，且正在进行下一代产品的研发，以满足7nm以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3DNAND芯片等产品的刻蚀需求。
　　MOCVD业务立足于已有蓝光LED领域优势，向深紫外光LED、Mini LED、Micro LED领域拓展：①公司的MOCVD目前主要应用在蓝光LED领域。自2018年下半年以来，公司的MOCVD占据全球氮化镓基LED用MOCVD新增市场的60%以上；②2019年以来，公司研发的用于制造深紫外光LED的MOCVD设备已在行业领先客户端验证成功。用于Mini LED的MOCVD的研发工作正在有序进行中。制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD设备也在开发中。综合考虑后面这几大类市场，预计到2023-2025年左右，全球MOCVD市场有望成长到现在的4-5倍，给公司产品带来更大成长空间；③此外，公司原有MOCVD毛利率整体偏低，主要由于过去多年主要应用在LED照明等领域，相对低端，终端市场价格压力较大。随着公司MOCVD设备逐渐进入到Mini LED、Micro LED等中高端市场，期待该项业务毛利率有所改进。
　　通过有机生长、并购和内部衍生确保高速持续发展：①在高度竞争的产业形势下，公司考虑在有机成长的同时，通过投资并购国内外高端的半导体设备厂商，使公司能够覆盖更多的产品品类、占领更多细分市场，为公司的长期可持续成长奠定基础。公司拟持有睿励仪器10.41%的股份，沈阳拓荆11.2%的股份，前者主要专注于半导体量测设备领域，后者主要产品为集成电路领域的PECVD/ALD设备；2019年，公司下属的中微汇链、中微惠创在新业务拓展领域取得了很好的进展，得到了市场和用户的高度评价。公司同时积极探索在相关领域的投资机会，完成对洪朴科技和Solayer公司的投资。公司的参股投资的沈阳拓荆等项目营运表现良好，协同效应逐步呈现；②公司表示，未来在外延方面会重点考虑并购等离子体刻蚀、薄膜沉积设备和测量设备等领域的集成电路前道设备公司，以及其他泛半导体领域设备公司。
　　投资建议：看好国内半导体设备龙头公司未来持续通过内生增长和外部并购相结合的方式快速成长。以中微公司为例，在内生方面，公司目前主要产品包括IC领域的刻蚀设备和LED领域的MOCVD设备。就刻蚀设备而言，公司的CCP刻蚀在国内领先的存储厂商和逻辑代工厂商都做到了15%左右的机台市占率，且未来市占率有望持续提升；除CCP外，公司的ICP刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，且正在进行下一代产品的研发。就MOCVD设备而言，公司MOCVD业务立足于已有蓝光LED领域优势，向深紫外光LED、Mini LED、Micro LED领域拓展，打开4-5倍成长空间。在外延方面，公司持续重点关注等离子体刻蚀、薄膜沉积设备和测量设备等领域，确保高速持续发展。重点推荐：中微公司、北方华创等。